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AMB(活性金属钎焊)陶瓷基板技术及应用概述

  • 陶瓷基板
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  • AMB陶瓷基板
2025-11-17 14:47:55
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AMB(活性金属钎焊)技术是在DBC(直接键合铜)技术基础上发展起来的一种先进陶瓷与金属封装工艺。

相较于传统DBC基板,采用AMB工艺制备的陶瓷基板具备更优异的热导率、更强的铜层结合力,以及更低的热阻和更高的可靠性。此外,AMB工艺可在单次加热过程中完成键合,具有操作简便、周期短、封接质量好、适用陶瓷种类广泛等优势,因此在国内外迅速发展,并广泛应用于电子设备制造中。


AMB Substrate


AMB工艺概述

AMB工艺通过在钎料中引入活性元素(含量通常为2%~8%),使其与陶瓷表面发生化学反应,形成反应层,从而显著提升钎料在陶瓷表面的润湿性,实现陶瓷与金属的高强度直接钎焊。活性元素含量过低会导致润湿性不足,难以完成封接;含量过高则会使钎料脆性增大,削弱结合强度。


三种主流的AMB陶瓷基板材料

AMB陶瓷基板主要应用于功率半导体模块,作为硅基及碳化硅基功率芯片的衬底材料。目前技术成熟的AMB陶瓷基板包括氧化铝(Al₂O₃)、氮化铝(AlN)和氮化硅(Si₃N₄)三种类型。

目前,Al₂O₃覆铜陶瓷基板多用于LED等低功率散热器件;而AlN与Si₃N₄覆铜陶瓷基板则广泛应用于高铁、风力发电等大功率IGBT模块中。


1. Al₂O₃陶瓷基板

特点强度高、硬度大、耐高温、耐腐蚀、绝缘性能优良。

优势:工艺成熟,成本最低,是目前性价比最高的AMB陶瓷基板。

局限:导热系数较低,散热能力有限,适用于功率密度不高、对可靠性要求较宽松的领域。


2. AlN陶瓷基板

特点:理论热导率高达319W/(m·K),介电常数低,热膨胀系数与硅匹配良好,绝缘性能优越。

优势:是微电子封装中理想的基板材料,尤其适用于高压、大电流场景,如高铁、高压变流器和直流输电系统。

局限:机械强度较低,高低温循环冲击寿命有限,制约了其应用范围。


3. Si₃N₄陶瓷基板

特点:热导率超过90W/(m·K),铜层厚度可达800μm,热容量大,传热性能优异。

优势:热膨胀系数(2.4ppm/K)与SiC芯片(4ppm/K)接近,热匹配性好,适合直接封装裸片。

应用:已成为新能源汽车、光伏逆变器、风力发电、高压直流输电等高可靠性、高散热、低局部放电应用场景的首选基板材料。


市场应用概况

据统计,在600V以上功率半导体所使用的陶瓷基板中,DBC与AMB是两种主流工艺。其中:

AMB-Si₃N₄基板:主要用于电动汽车(EV/HV)功率模块。

AMB-AlN基板:则广泛应用于高铁、高压变流器及直流输电等大功率、高电流环境。


百能云板AMB陶瓷基板产品展示