不同MEMS产品在功能与结构上的多样性,也决定了其制造工艺与封装形式的特异性。在各类封装方案中,陶瓷封装凭借其优异的气密性、良好的热机械性能、高绝缘性以及出色的高温稳定性,在要求高可靠性与长寿命的应用中,通常展现出比金属或塑料封装更佳的综合性能。
高频如同精准的计时器,要求信号频率既不快也不慢,稳定可靠。 高速则像一条洁净的赛道,追求信号传输过程中能量损耗最小、波形畸变最少。
陶瓷基板是一种基于陶瓷材料(如氧化铝、氮化铝、氮化硅)制成的电子基板,通过特殊工艺(如直接结合铜DBC、活性金属钎焊AMB或直接镀铜DPC)将铜层键合到陶瓷表面,形成电路图案。
AMB工艺通过在钎料中引入活性元素(含量通常为2%~8%),使其与陶瓷表面发生化学反应,形成反应层,从而显著提升钎料在陶瓷表面的润湿性,实现陶瓷与金属的高强度直接钎焊。
封装基板是连接芯片与系统主板的核心部件,为芯片提供电气互连、物理支撑和散热通路。其分类方式多样,主要可从以下关键维度进行划分。